6英寸25槽-FPA清洗花篮-半导体晶圆与芯片包装耗材生产商

6英寸25槽-FPA清洗花篮

产品概述

应用范围

◎ 化学稳定性PP：耐强碱/常规酸/有机溶剂，不耐HF及热浓酸　　FPA：全耐蚀（含HF、王水、热浓酸）
◎ 洁净度PP/FPA：超低析出，满足Class 1+洁净
◎ 耐温性PP：≤105℃持续（120℃短时） FPA：150–180℃+高温耐受
◎ 机械性能PP：常规耐磨，低成本 FPA：高刚性，耐磨极佳（抗高磨损）

一、清洗工艺：
◎ 前段制程清洗（光刻后、蚀刻后） ◎ CMP后清洗（去除研磨残留） ◎ 后段制程清洗（背面清洗减薄后）
二、研磨工艺：
◎ CMP后清洗（CMP工艺紧密绑定） ◎ CMP机台内部传输/预清洗（辅助作用）

基础参数

品名	材料	容量片数	尺寸mm
2”PP清洗花篮	Ultra Clean PP	25片	L141×W68×H60mm
3”PP清洗花篮	Ultra Clean PP	25片	L145×W92×H83mm
4”PP清洗花篮	Ultra Clean PP	25片	L142×W127×H116mm
5”PP清洗花篮	Ultra Clean PP	25片	L153×W141×H145mm
6”PP清洗花篮	Ultra Clean PP	25片	L143×W179×H170mm
6”PP研磨花篮	Ultra Clean PP	12片	L143×W179×H170mm
8”PP清洗花篮	Ultra Clean PP	25片	L203×W234×H218mm
8”PP研磨花篮	Ultra Clean PP	13片	L203×W234×H218mm
12”PP清洗花篮	Ultra Clean PP	25片	L169×W350×H310mm
4”FPA清洗花篮	FPA	25片	L142×W125×H113mm
5”FPA清洗花篮	FPA	25片	L155×W143×H147mm
6”FPA清洗花篮	FPA	25片	L143×W180×H171mm
8”FPA清洗花篮	FPA	25片	L203×W233×H219mm
12”FPA清洗花篮	FPA	13片	L169×W350×H310mm

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