5英寸25槽-晶圆储存盒-半导体晶圆与芯片包装耗材生产商 - 深圳市矽贝达科技

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5英寸25槽-晶圆储存盒

产品概述

应用范围

◎ 由上盖、内胆、下底三部分组成。
◎ 上下盖采用扣位配合设计方案，有效避免了运输过程中上盖脱出问题。
◎ 内胆式设计能有效避免晶圆移动，防止晶圆破损，以及减少微尘产生。
◎ 提供超洁净PP和抗静电PP两种材料可选。

◎ 半导体晶圆厂内部制程间的晶圆自动化传输。
◎ 晶圆厂与封装测试厂之间的晶圆运输。
◎ 晶圆制造商向客户交付产品晶圆。
◎ 研发部门内部或跨部门传递少量晶圆样品。

基础参数

产品名称	材料	表面电阻	内圆直径
1”25片晶舟盒	Ultra Clean PP	10E4Ω-10E9Ω	⌀25mm
2”25片晶舟盒	Ultra Clean PP	10E4Ω-10E9Ω	⌀50.8mm
3”25片晶舟盒	Ultra Clean PP	10E4Ω-10E9Ω	⌀76.2mm
4”25片晶舟盒(含内胆)	Ultra Clean PP	10E4Ω-10E9Ω	⌀103mm
6”25片晶舟盒(含内胆)	Ultra Clean PP	10E4Ω-10E9Ω	⌀153mm
8”25片晶舟盒(含内胆)	Ultra Clean PP	10E4Ω-10E9Ω	⌀203mm
4”25片周转盒(含内胆)	Antistatic PP	10E4Ω-10E9Ω	⌀103mm
5”25片周转盒(含内胆)	Ultra Clean PC	10E4Ω-10E9Ω	⌀128mm
8”25片周转盒(含内胆)	Antistatic PP	10E4Ω-10E9Ω	⌀203mm
8”25片水晶盒(含内胆)	Ultra Clean PC	10E4Ω-10E9Ω	⌀300mm
12”25片FOUP盒	Antistatic PP	10E4Ω-10E9Ω	⌀300mm
12”25片FOSB盒	Ultra Clean PC	10E4Ω-10E9Ω	⌀300mm

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